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本文標(biāo)題:電子顯微鏡的電子束入射樣品時(shí)所產(chǎn)生的各種信息

信息分類:站內(nèi)新聞　新聞來(lái)源：未知發(fā)布時(shí)間：2014-5-14 10:46:45

電子顯微鏡的電子束入射樣品時(shí)所產(chǎn)生的各種信息

電子顯微鏡電子束入射樣品時(shí)所產(chǎn)生的各種信息表示電子束與樣品原

子間的相互作用是表現(xiàn)樣品形貌和內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息的唯一途徑。

電子顯微鏡入射電子與樣品原子中的電子和原子核會(huì)發(fā)生彈性碰撞

和非彈性碰撞，所產(chǎn)生各種電子信號(hào)和電磁輻射信號(hào)都帶有樣品原

子的信息，從不同角度反映出了樣品的表面形貌、內(nèi)部結(jié)構(gòu)、所含

元素成分、化學(xué)狀態(tài)等。

電子顯微鏡信號(hào)在樣品內(nèi)產(chǎn)生的位置、深度和范圍各不相同，這一方

面與入射電子束的能量和打在樣品表面的束斑大小有關(guān)，另一方面也

與樣品內(nèi)對(duì)各種信號(hào)的吸收差異有關(guān)。

電子顯微鏡各種信號(hào)被特定的檢測(cè)系統(tǒng)收集后，可形成不同的影像或

其他形式的信息而被用于不同的顯示目的。

電子顯微鏡如透射電鏡利用透射電子成像，掃描電鏡則主要利用二次

電子建立影像，還可以通過(guò)一些其他附加裝置接受某種特殊信號(hào)來(lái)進(jìn)

行信息處理。